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堿拋上下料設備

多年來(lái),二所立足自主裝備,與產(chǎn)業(yè)融合,形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統集成的能力。

關(guān)鍵詞:

服務(wù)熱線(xiàn):

  • 產(chǎn)品描述
  • 詳細參數
  • 用于光伏電池堿拋及去BSG/PSG工序。硅片從工藝主機流出,傳輸至自動(dòng)化內裝滿(mǎn)花籃,并實(shí)現與AGV的對接。設備運行穩定可靠,整合高效,人機交互簡(jiǎn)單方便。

  • 硅片尺寸: 182-230mm(方片及半片)

    硅片厚度: 120-200µm

    產(chǎn)能:12道≥16000Pcs/H 10道≥13000Pcs/H半片32000Pcs/H       

    碎片率:182尺寸≤0.02%220尺寸≤0.03%

    不良比例:1、錯槽、雙片不可有;2PLEL不良之和≤0.02%

    插片整齊度:偏差≤2mm

    兼容花籃:  182240×250×700mm230272×272×700mm

    高精度機器人搬送花籃

    碎片率≤0.01%  Uptime≥99%

中國電子科技集團公司第二研究所成立于1962年,是我國以智能制造、微電子裝備及應用、碳化硅裝備及應用、新能源裝備及應用等產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)的骨干單位。多年來(lái),二所立足自主裝備,與產(chǎn)業(yè)融合,形成了具有特色的高端智能制造和工藝技術(shù)系統集成的能力。

 

二所是科技部“國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng )新中心(山西)”、科技部“國家科技合作基地”、工信部“智能制造試點(diǎn)示范”、國防科工局“軍用微組裝技術(shù)創(chuàng )新中心”、山西省“寬禁帶半導體制備重點(diǎn)實(shí)驗室”、山西省“微組裝工程技術(shù)研究中心”、山西省“微電子智能制造裝備創(chuàng )新中心”等的主建和依托單位。近年來(lái),獲得國家、省部級獎項11項。

 

站在新的歷史起點(diǎn),二所將以人工智能和半導體技術(shù)為核心,強化以軍為本、以民為主的創(chuàng )新鏈和以裝備為本、以應用為主的產(chǎn)業(yè)鏈,實(shí)施智能制造、微電子、SiC和新能源產(chǎn)業(yè)躍升計劃,不斷提升核心競爭力和盈利能力,形成良好可持續的高質(zhì)量發(fā)展態(tài)勢。

產(chǎn)品詢(xún)價(jià)

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